Технологія лазерного напилення плівок

Abstract

Для оптимізації технологічного процесу ефективного застосування ексимерних лазерів для потреб плівкових технологій необхідна інформація про основні параметри пари, що конденсується на підкладку. Однак, властивості плівок, отриманих розпиленням мішені наносекундними лазерними імпульсами та властивості парової фази практично не досліджувалися. У той же час, мас-спектрометричні та зондові дослідження парової фази дають змогу визначити низку важливих параметрів конденсації. Результатом проведених таких робіт стала розробка способу формування періодичних структур при опроміненні цугом лазерних імпульсів, який забезпечує отримання якісних гетерогенних і субграткових структур. Експериментальні та теоретичні дослідження вказують на можливість отримання періодичних структур при опроміненні цугом лазерних імпульсів при дотриманні встановлених в роботі умов.