DSpace Repository

Технологія лазерного напилення плівок

Show simple item record

dc.contributor.author Жигуц, Ю. Ю.
dc.contributor.author Лазар, Василь Федорович
dc.contributor.author Хом'як, Богдан Ярославович
dc.date.accessioned 2021-08-13T07:50:15Z
dc.date.available 2021-08-13T07:50:15Z
dc.date.issued 2021
dc.identifier.uri http://localhost:8080/jspui/handle/123456789/8244
dc.description Жигуц Ю.Ю. Технологія лазерного лазерного напилення плівок / Ю.Ю. Жигуц, В.Ф. Лазар, Б.Я. Хом‘як// Міжнародний науковий журнал "Освіта і наука" / голов. ред.: Щербан Т. Д.; заст. голов. ред.: Jerzy Piwowarski; Гоблик В. В. – Мукачево-Ченстохова, 2021. – 1(30). – С.7-10 uk_UA
dc.description.abstract Для оптимізації технологічного процесу ефективного застосування ексимерних лазерів для потреб плівкових технологій необхідна інформація про основні параметри пари, що конденсується на підкладку. Однак, властивості плівок, отриманих розпиленням мішені наносекундними лазерними імпульсами та властивості парової фази практично не досліджувалися. У той же час, мас-спектрометричні та зондові дослідження парової фази дають змогу визначити низку важливих параметрів конденсації. Результатом проведених таких робіт стала розробка способу формування періодичних структур при опроміненні цугом лазерних імпульсів, який забезпечує отримання якісних гетерогенних і субграткових структур. Експериментальні та теоретичні дослідження вказують на можливість отримання періодичних структур при опроміненні цугом лазерних імпульсів при дотриманні встановлених в роботі умов. uk_UA
dc.language.iso other uk_UA
dc.subject цуги uk_UA
dc.subject лазерні імпульси uk_UA
dc.subject мішень uk_UA
dc.subject фаза uk_UA
dc.subject напилення uk_UA
dc.subject періодичні структури uk_UA
dc.title Технологія лазерного напилення плівок uk_UA
dc.type Article uk_UA


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search DSpace


Advanced Search

Browse

My Account