Жигуц, Юрій Юрійович; Опачко, І. І.; Хом'як, Богдан Ярославович; Лазар, Василь Федорович
(Луцьк, 2017)
З метою оптимізації технологічного процесу ефективного застосування ексимерних лазерів для потреб плівкових технологій необхідна інформація про основні параметри пари, що конденсується на підкладку. Однак, ...